内热式电阻加热真空烧结炉技术说明

特性：

真空烧结炉为内热式电阻加热真空炉，由炉体、加热室、真空机组、冷却水系统、充放气系统及电控系统等组成。

1.1真空烧结炉炉体：

a) 双层水冷结构、材质为304不锈钢，内部按高真空要求抛光，外部抛光后喷砂处理；

b) 立式结构，炉体为圆柱形，下部为封头，上部为真空法兰。炉门位于炉体上方，与炉体为法兰连接，密封结构为法兰形式，耐高温氟橡胶唇型圈密封，手轮螺栓锁紧；

c) 真空口位于炉体上部，与真空机组真空法兰连接，耐高温氟橡胶O型圈密封；

d) 电极引入装置位于炉体的下部，共计三组。材质为紫铜。炉内与炉外采用刚玉管绝缘，封接结构。与炉体采用法兰连接，O型密封圈；

e) 炉体上装有充放气装置，充气口位于炉体的下方，放气口位于炉体的上方；

f) 炉体上设有一个控温口，钨铼热电偶测温；并设有电极引入装置用于1100℃保温状态下均温性测量。

1.2真空烧结炉加热室：

a) 用于真空或保护气氛。

b) 发热体是高强石墨加热器（采用日本东海碳素石墨，该石墨电阻率稳定、灰份低、导热性均匀），它在均温区外环形对称分布，采用三区分布的加热方式保证了Z佳的温度均匀性和工件的均匀受热。

c) 保温材料为美国进口硬质碳毡（保温材料是真空炉的重要组成部分，我公司设备的保温材料均采用美国进口硬质碳毡，其产品具有优良的隔热性能， 低灰分、碳化温度高、低容重、热膨胀系数小等特点，是高温真空炉必备的高性能绝热材料）及莫来石保温毡反射屏；

d) 发热体更换方便。整个加热区可以作为一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理。装料台安装在炉子底座上，由耐高温的材料支承组成。

1.3真空烧结炉真空系统：

a) 采用KT-250扩散泵/ZJP-150罗茨泵/2X-30旋片泵三级高真空机组，机组前加过滤器，延长真空泵的使用寿命；

b) 真空阀、电磁放气阀、管路、波纹管等组成机组；管路上留有检漏口、真空计接口；

1.4冷却水系统：

根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作集水排、由阀门、管路等组成；对炉体、炉门、密封圈、真空泵及水冷电极等进行冷却。其中总进水管路安装水压传感器确保设备安全。

1.5充放气系统：

由电磁阀、微调阀及管路构成，可设定不同的充气压力范围，通过压力开关可自动充气和补气。 

1.6电控系统：

a) 采用欧姆龙可编程控制器PLC、便携式笔记本电脑、自主开发的组态软件,根据工艺要求对设备进行自动控制、数据采集、数字显示以及存贮记录。可记录和显示温度、真空度、压力等参量的变化。存贮数据可查询、复制，连接打印机（用户自备）可打印输出历史曲线记录。

b) 日本岛电公司FP93数显控温表，用来对升温过程进行智能控制及显示，使升温过程按照工艺要求分步分段进行；测温选用钨铼热电偶；

c) 加热电源：三相、晶闸管可控硅电源；

d) 复合数显真空计，低真空下为热偶计，高真空下为电离计；

e) 所有仪表及控制元件集中在一个特制电控柜内；

f) 设置必要的报警及保护，例如超温、水压低、气压低等。

1.7:  工作平台:

由型钢及连接件制造一个操作平台，上部铺设不锈钢板。下部放置真空机组及变压器，水冷接口，电极引入铜排等，上部放置真空炉体及控制面板。

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